Inline晶圆台的设计需要综合考虑平整度、稳定性、材料选择、热管理、电磁兼容性、真空兼容性、传输机制、清洁与维护、传感器集成、自动化与集成以及安全性与可靠性等多个方面，以确保其高效、稳定地运行，并满足半导体制造的需求。
〇 采用机械手臂传输晶圆，减少人手动误操作及橡胶手套对晶圆的污染
〇 采用陶瓷托盘，保证热稳定性及材料物理惰性
〇 具备OO/OE/EE/RF等测试能力
〇 测试项目和测试范围灵活可配置，成熟测试方案一键导入
〇 可定制产品数据库，自动生成报表
〇 可接入MES系统
〇 无人值守，远程可控制
〇 可对接天车轨道和协议
天车与检测设备对接系统架构示意图
〇 硬件高精度对接：通过自动定位机构与定制化取放接口
〇 软件智能协同：集成MCS系统与实时监控平台
〇 三重安全防护：融合防碰撞预警、超时保护和应急供电机制，确保系统稳定运行与故障快速恢复