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量子传感·光速校准·灵活枢轴 | 驿天诺全新高端晶圆台系列 WIT-SP-220AL
文章出处:
驿天诺
责任编辑:
小驿
发布时间:
2025-07-12

量子传感·光速校准·灵活枢轴 | 驿天诺全新高端晶圆台系列 WIT-SP-220AL


在装备制造领域,追求更精准、更快速、更高效的脚步从未停歇。随着摩尔定律不断逼近物理极限,对核心测试设备——晶圆测试台的性能要求也已进入"原子级"时代。晶圆台在半导体及光子集成电路(PIC)制造中扮演着极其重要的角色。


硅光晶圆测试台是连接设计、制造与应用的枢纽,直接影响产品性能、可靠性和商业化进程。随着硅光技术向更小节点和更复杂集成方向发展,测试台的精度、速度和智能化水平将成为行业竞争的关键要素。


量子传感·光速校准·灵活枢轴 | 驿天诺全新高端晶圆台系列 WIT-SP-220AL


驿天诺全新高端硅光晶圆台系列——WIT-SP-220AL,完美契合市场对晶圆台超精度对准、超快速度测试和高灵活适配性等多维度要求。该产品在位置传感器精度、光纤校准速度、虚拟枢轴自由度三大核心技术上实现突破,为半导体制造提供更高效、更精准、更智能的解决方案。


01

量子级位置传感器实现纳米精度

Quantum-level position sensor achieves nanometer precision

独特宏微平台设计,集成压电陶瓷,保证足够移动行程,实现2nm重复定位精度。

02

光纤对准效率飞跃式提升

Fiber alignment efficiency achieves leapfrog improvement

超高速光纤耦合对准,6条光纤同步耦合校准仅需0.2秒,效率提升至传统方法的10倍。

03

虚拟枢轴点解锁复杂工艺

Virtual pivot point unlocks complex processes

虚拟枢轴点技术,可在整个运动行程范围内,自由定义旋转轴的中心点,灵活适配复杂工艺。


量子传感·光速校准·灵活枢轴 | 驿天诺全新高端晶圆台系列 WIT-SP-220AL




耦合宏定位

主动轴

X/Y/Z/θXYZ

X行程范围

±6.5mm

Y行程范围

±16mm

Z行程范围

±8.5mm

最大速度

10mm/s

X/Y/Z的最小位移

0.1µm

Y/Z重复定位精度

±0.15µm

X重复定位精度

±0.06µm

θX/θY/θZ范围内的行程

±14.5°/±10°/±10°

θY/θZ重复定位精度

±2µrad

θX重复定位精度

±3µrad

耦合微对位

主动轴

X/Y/Z

X/Y/Z行程范围

100µm

X/Y/Z闭环最小位移

2.5nm

X/Y/Z双向重复精度
(10%行程)

2nm


新产品系列可快速处理大批量晶圆,缩短产品上市时间;同时具备更高的集成度,以满足多通道测试、三维堆叠芯片CPO、OIO前沿产品测试要求。


从2纳米的极致定位,到毫秒级超高速对准,驿天诺在测试领域持续进行自我突破,持续打磨完善每一个细节,不断探索晶圆测试台性能参数极限,助力客户大规模制造及新产品技术路线需求!



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