Laser Bar 测试系统

Laser Bar 测试系统是一套专用于BAR类激光器芯片光电性能评估的全自动测试系统。设备集成高精度视觉定位、多轴运动平台、温控载物台及积分球/准直透镜收光模块，适配常温与高温（25~85℃可调）环境下的LIV综合测试及光谱分析测试，可全面量化芯片的阈值电流、斜率效率、光输出功率、峰值功率、正向电压及波长等关键参数。系统采用模块化设计，包含顶视、底部及辅助三套视觉组件，以及上料搬运、载物台移动、探针卡搬运、积分球搬运等多组精密运动轴，配合气浮光学平台和TEC温控夹具，确保测试重复性与稳定性。


产品特点

  • 高精度光电测试：LIV测试采用积分球收光方案，确保功率参数长期可靠，功率测量覆盖5nW～7W，波长测量范围800～1650nm，光谱测试采用准直透镜收光结构，有效提升波长采集准确性；

  • 宽量程精密电学驱动：搭载Keithley 2602B源表，兼顾微小信号与高功率驱动需求；

  • 精密温控与定位：TEC控温精度及稳定性均达±0.1℃，载物台电动轴重复定位精度±0.5μm；

  • 智能化自动流程：支持自动上料、自动耦合、自动扎针，可实时显示测试结果，并具备针痕压力监控、Chip ID识别及外部程序接口二次开发能力；

  • 多重安全保护：每路独立供电均配置断路保护器，防止短路及过载损坏；可选配UPS，保障异常断电时数据安全；设有EMO急停联锁，紧急状况下可快速切断设备动力，全面保障设备与操作人员安全。


产品应用

该设备适用于BAR条激光器芯片的量产批量筛选及研发性能验证场景，全自动上下料，支持2英寸兼容4英寸料盒上料，空间布局兼容DC探针卡，满足光电芯片制造及测试环节的多样化需求。


技术参数

基本参数

额定功率

单相 220VAC  50Hz  2KW

顶部视觉

500万彩色，0.7~4.5X变倍，高倍精度3.9μm

底部视觉

1.5X，精度2.3μm

辅助视觉

4X，精度0.8μm

机械轴重复定位精度

最高±0.3μm（吸嘴Z轴）

测试效率

UPH达8min/pcs（含自动上下料）

上料下料

2英寸兼容4英寸GelPak

温度设置范围

20~85℃ 可调，（精度 ±0.1℃ / 稳定性 ±0.1℃）

电压范围

±100mV~±40V

电流范围

±100nA~±3A(直流)，±10A(脉冲)

电流编程分辨率

2pA(100nA量程)、20uA(3A量程)

功率范围

5nw~7W

波长范围

800~1650nm（依光谱仪选型），分辨率 0.02nm

探针针痕

针压监控压力

压缩空气 (CDA)

0.4~0.8MPa

真空要求

≤-90KPa

工作环境

千级~万级洁净间


产品特点

产品应用

技术参数

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