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WAT-226 高功率晶圆测试系统
产品特点
- 高真空低形变腔体设计
- 强电压:> 10 kV @ 1mm
- 高电流:> 600A
- 控温范围:-60℃ ~300 ℃(支持更宽温度范围)
- 真空度: < 1e-4 Torr
- 可选配高电压、高电流探针
- 可选配端到端测试解决方案服务
产品应用
该系统适用于SiC/GaN第三代半导体高功率晶圆测试。
自研核心部件
高电流探针
- 高电流探针头弧形设计
- 针头弹性设计
- 单排600A
- 双排1200A
- 探针座平行调整
高电压探针
- 钨针Tip
- 陶瓷针臂
- 高电压 > 20kV
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