新闻资讯

为进一步聚焦国际半导体光电子、半导体激光器、功率半导体器件等化合物半导体技术及应用的最新进展，促进化合物半导体产业全方位、全链条发展。在湖北省和武汉市政府支持下，由武汉东湖新技术开发区管理委员会、第三代半导体产业技术创新战略联盟（CASA）、九峰山实验室、光谷集成电路创新平台联盟共同主办的“首届中国光谷九峰山论坛暨化合物半导体产业发展大会”将于4月19-21日在武汉召开。武汉驿天诺科技有限公司将与会亮相，并将针对三代半导体SiC/GaN高功率材料晶圆级测试设备行业现状及技术难点做专题报告。

参展信息

展位号：B03

时间：2023年4月19-21日

地点：湖北·武汉·光谷希尔顿酒店

武汉驿天诺科技有限公司，专注于三代半&硅光测试设备，团队拥有成熟的量产级半导体测试装备开发和应用经验，具备整机系统创新研发能力以及核心部件国产化研发能力；公司致力于成为该领域优秀企业。客户群目前覆盖多家国内外知名企业，并在设备性能、服务等各方面获得广泛认可。驿天诺将不断深耕三代半&硅光装备与核心关键技术，以客户需求为导向，与客户携手并进，共同开拓产业发展蓝图。

部分核心产品如下

高功率晶圆测试系统

• 适用于SiC/GaN第三代半导体高功率晶圆测试
• 高真空低形变腔体设计
• 强电压：> 10 kV @ 1mm
• 高电流：> 600A
• 控温范围：-60ºC ~ 300ºC（支持定制更宽范围）
• 真空度：< 1e - 4 Torr

晶圆光电测试探针台

• 机器视觉全自动校准
• 探针/探针卡自动压接
• 支持自动找光
• 支持任意小模斑芯片测试
• 晶圆尺寸 2 ~ 12inch 可定制
• 温度范围：-60℃ ~ 300℃

自动晶圆缺陷检测系统

• 有效检测晶圆划痕、断裂、异色、异物残留、尺寸误差等缺陷
• 最小缺陷：0.5μm
• 兼容晶圆尺寸：2~12英寸，可定制
• 自动化上下料，每批最多测试量：25pcs
• 自动聚焦和分层聚焦图像摄取
• 机器视觉系统自动检测

硅光芯片自动耦合测试系统

• 耦光重复性：<0.2dB
• 探针/探针卡自动压接，自动找光
• 支持任意小模斑芯片测试
• 可选Sensor防撞设计：精度2μm
• 温度范围：常温~95℃（支持定制更宽范围）
• 兼容多种类型芯片测试

本届论坛以“攀峰聚智 芯动未来”为主题，为期三天，将通过开幕大会，5大主题平行论坛，超70+场次主题报告分享，预计将邀请500+企业代表，行业领袖代表共话产业前沿技术及应用趋势热点。